بررسی شکل میکرو تیر یکسر گیردار بر حساسیت سنسور گاز با استفاده از نرم افزار کامسول
پذیرفته شده برای ارائه شفاهی
کد مقاله : 1023-ISAV (R1)
نویسندگان
1دانشگاه شهید بهشتی
2Shahid Beheshti Univ
چکیده
با پیشرفت های اخیر در سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) و فناوری نانو، سنسورهای گاز MEMS که می توانند ردپای گاز را تا سطح یک ذره در تریلیون (ppt) تشخیص دهند، مورد توجه قرار گرفته اند. دلیل این محبوبیت اندازه کوچک، حساسیت بهتر، هزینه کم و مصرف کم برق در آنها است. یکی از روشهای تشخیص گاز در سیستم های میکرو الکترومکانیکی، میکرو تیر یکسرگیردار با مواد حساس به عنوان لایه فعال برای تشخیص گاز می باشد. ساختارهای مختلف میکرو تیر از نظر میزان جابجایی، حساسیت و فرکانس طبیعی در این مقاله مورد مطالعه قرار گرفته است و بهترین شکل میکرو تیر انتخاب شده است. طراحی و تحلیل المان محدود شکل های مختلف میکرو تیر با استفاده از نرم افزار کامسول صورت گرفته است. نتایج نشان میدهد که شکل میکرو تیر نردبانی بیشترین جابجایی و حساسیت را دارد و می توان از این شکل به عنوان سنسور گاز استفاده کرد. همچنین میکرو تیر با شکل نردبانی، فرکانس طبیعی کمتری نسبت به سایر موارد دارد.
کلیدواژه ها
موضوعات